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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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Zařazení knihy Knihy v němčině Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Technik Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik

• Plný název: Mikrosystemtechnik
• Podnázev: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
• Autor: Ulrich Hilleringmann
• Jazyk: Němčina
• Vazba: Brožovaná
• Počet stran: 274
• EAN: 9783835100039
• ISBN: 3835100033
• ID: 03622076
• Nakladatelství: Vieweg+teubner Verlag
• Hmotnost: 381 g
• Rozměry: 210 × 148 × 17 mm
• Datum vydání: 25. April 2006

Oblíbené z jiného soudku

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