Mohlo by se vám také líbit

Více informací o knize Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

• Parametry knihy
• Anotace
• Oblíbené z jiného soudku

Nákupem získáte 920 bodů

Anotace knihy

Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes innovations in semiconductor manufacturing. This book considers future trends in lithography and resist material technology. It also reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials.

Parametry knihy

Zařazení knihy Knihy v angličtině Technology, engineering, agriculture Electronics & communications engineering Electronics engineering

• Plný název: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
• Autor: Toshio Ito
• Jazyk: Angličtina
• Vazba: Pevná
• Počet stran: 336
• EAN: 9780824799519
• ISBN: 9780824799519
• ID: 03020458
• Nakladatelství: Taylor & Francis Inc
• Hmotnost: 612 g
• Rozměry: 229 × 152 × 22 mm
• Datum vydání: 25. June 1998

Oblíbené z jiného soudku

---

---

---