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Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.

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• Plný název: Polysilizium-Heaterstrukturen fur den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlassigkeitstests auf Waferebene
• Autor: David Weinberger
• Jazyk: Němčina
• Vazba: Brožovaná
• Počet stran: 78
• EAN: 9783656276708
• ISBN: 3656276706
• ID: 05283409
• Nakladatelství: Grin Publishing
• Hmotnost: 113 g
• Rozměry: 210 × 148 × 5 mm
• Datum vydání: 23. September 2012

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