Mohlo by se vám také líbit

Více informací o knize Micro and Nano Fabrication

• Parametry knihy
• Anotace
• Oblíbené z jiného soudku

Nákupem získáte 302 bodů

Anotace knihy

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

Parametry knihy

Zařazení knihy Knihy v angličtině Technology, engineering, agriculture Industrial chemistry & manufacturing technologies Other manufacturing technologies

• Plný název: Micro and Nano Fabrication
• Podnázev: Tools and Processes
• Autor: Hans H. Gatzen, Volker Saile
• Jazyk: Angličtina
• Vazba: Brožovaná
• Počet stran: 519
• EAN: 9783662508268
• ISBN: 3662508265
• ID: 15201792
• Nakladatelství: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
• Hmotnost: 1115 g
• Rozměry: 235 × 155 × 30 mm
• Datum vydání: 06. October 2016

Oblíbené z jiného soudku

---

---

---