Mohlo by se vám také líbit

Více informací o knize Micro and Nano Fabrication

• Parametry knihy
• Anotace
• Oblíbené z jiného soudku

Nákupem získáte 391 bodů

Anotace knihy

For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.

Parametry knihy

Zařazení knihy Knihy v angličtině Technology, engineering, agriculture Industrial chemistry & manufacturing technologies Other manufacturing technologies

• Plný název: Micro and Nano Fabrication
• Podnázev: Tools and Processes
• Autor: Hans-Heinrich Gatzen, Volker Saile, Juerg Leuthold
• Jazyk: Angličtina
• Vazba: Pevná
• Počet stran: 519
• EAN: 9783662443941
• ISBN: 3662443945
• ID: 05158609
• Nakladatelství: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
• Hmotnost: 952 g
• Rozměry: 240 × 164 × 31 mm
• Datum vydání: 20. January 2015

Oblíbené z jiného soudku

---

---

---