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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.

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Zařazení knihy Knihy v němčině Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Physik, Astronomie

• Plný název: Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
• Autor: Dominik Stöffler
• Jazyk: Němčina
• Vazba: Brožovaná
• Počet stran: 114
• EAN: 9783866448438
• ID: 07094448
• Nakladatelství: Karlsruher Institut Fur Technologie
• Hmotnost: 195 g
• Rozměry: 244 × 170 × 6 mm
• Datum vydání: 29. July 2014

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